一、主要检测内容：
晶圆蚀刻线路放大观察；
二、要求：
满足不同尺寸产品运用；
清晰看到晶圆蚀刻后IC线路是否存在断线，异物，瑕疵，损毁等不良现象；
三、检测分析
晶圆尺寸不同，X/Y两轴方向需要同等有效行程满足。移动精度须达到um级。
光学配置上选用无限远平场消色差物镜系统，配置高清HDMI工业相机；配置21.5寸LCD显示器实时放大观察，测量。长时间操作能够有效降低操作人员疲劳。
检测产品图（12寸晶圆）
检测效果图（EOC物镜5X）
检测效果图（EOC物镜10X）
检测效果图（EOC物镜20X）
检测效果图（EOC物镜50X）
仪器外观图
选用HXJ-GJ310系列高清测量工具金相显微镜系统。具备三轴精密测量，Z轴标注功能。标配完整偏光系统，EOC无限远物镜系统（可定制观察尺寸）