晶圆计算及缺漏检测解决方案

技术人员：陈先生

实验日期：2018/9/20

联系方式：0755-81753034

金相显微镜

     一、检测要求：

    1:操作人员放置晶圆盘至工作平台，设备自动进行移动检测。

    2:对晶圆盘内的晶圆数量自动进行计算。

    3:对晶圆盘内出现的缺料，该位置进行图片采集。

 

     二、设备结构要求：

    1:X/Y方向自动位移≥8英寸。

    2:智能检测系统，操作人员手动放置，自动运行检测。

    3:检测结果汇集文档，图片显示。

    4:提供备用通信接口，可定向MES系统开发端口

三、设备参数
       1:高清HDMI智能工业相机，嵌入式集成软件；分辨率：1920X1080；
       2：检测软件具备：有无识别，排序计数，颜色分辨，尺寸测量，外观判断等功能。
       3:配置EOC高清光学镜头，落射临界照明系统。
       4:实时画面，60/fps传输速度。
       5:全自动位移工作台，可编程轨迹运动。
        6:检测时间：300/ms视野范围内检测。

     四：设备外观图

描述：晶圆出现空缺，设备设置发现空缺进行不良提示，存储图片。空缺位置不计数。

OK画面

结论：自动位移，自动计数，自动检测完全满足要求。

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