高分辨:
放大倍率15万倍
5nm分辨率
1kV~30kV加速电压选择 ,图像分辨率高
使用方便:
Tilt( 0~90 )载物台配置(可选择)
通过选配EDS可进行元素成份分析
扫描电镜,体型小巧, 占用空间小
产品特性:
自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品
采用二次电子和背散电子双重探测器
扫描电镜能谱一体机:
原厂集成能谱仪
高真空设计,可调式电压,为不同样品提供更合适的检测环境
E-150系列扫描电镜技术参数
分辨率
5nm (30kV,SE)
放大倍率
20x~150,000x
加速电压
~30kV
探测器
SE探测器 ,可选配BSE探测器 ,EDS等
电子枪
预对中钨灯丝
透镜系统
聚光镜 :2段式磁线圈透镜
物镜 :1段式磁线圈物镜
载物台
3轴(X,Y, R,)X,Y轴40mm/R轴 :360 °
可选5轴样品台 :X:40mm,Y:40mm,Z:40mm,R:360°,T:0 ~90 °
图像偏移
X,Y轴图像偏移(±150μm)
光阑
可调节光阑(30/50/50/100μm)
样品最大尺寸
高度35mm时最大直径80mm
图像扫描
快速扫描 :320*240 低速扫描 :640*480
图片模式1:1280*960 图片模式2:2560*1920 图片模式3:5120*3840
自动功能
自动启动、 自动亮度对比度调节、 自动初始化
图像存储格式
BMP,JPEG,PNG,TIFF
图片显示数据
放大倍率、探测器类型、加速电压、真空模式、比例尺、LOGO、 日期和时间
真空方式
高真空模式 ,机械泵 ,分子泵 ,抽真空时间 :3分钟以内
设备尺寸
460(W)*600(L)*950(H)mm
运行环境
温度 :15~30℃,湿度 :≤70%电源 :单相220AC1KW 50/60Hz
样品效果:
![]()
氧化铝陶瓷粉颗粒
![]()
LED合金线
LED弧线不良
高分辨:
放大倍率15万倍
5nm分辨率
1kV~30kV加速电压选择 ,图像分辨率高
使用方便:
Tilt( 0~90 )载物台配置(可选择)
通过选配EDS可进行元素成份分析
扫描电镜,体型小巧, 占用空间小
产品特性:
自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品
采用二次电子和背散电子双重探测器
扫描电镜能谱一体机:
原厂集成能谱仪
高真空设计,可调式电压,为不同样品提供更合适的检测环境
E-150系列扫描电镜技术参数
分辨率
5nm (30kV,SE)
放大倍率
20x~150,000x
加速电压
~30kV
探测器
SE探测器 ,可选配BSE探测器 ,EDS等
电子枪
预对中钨灯丝
透镜系统
聚光镜 :2段式磁线圈透镜
物镜 :1段式磁线圈物镜
载物台
3轴(X,Y, R,)X,Y轴40mm/R轴 :360 °
可选5轴样品台 :X:40mm,Y:40mm,Z:40mm,R:360°,T:0 ~90 °
图像偏移
X,Y轴图像偏移(±150μm)
光阑
可调节光阑(30/50/50/100μm)
样品最大尺寸
高度35mm时最大直径80mm
图像扫描
快速扫描 :320*240 低速扫描 :640*480
图片模式1:1280*960 图片模式2:2560*1920 图片模式3:5120*3840
自动功能
自动启动、 自动亮度对比度调节、 自动初始化
图像存储格式
BMP,JPEG,PNG,TIFF
图片显示数据
放大倍率、探测器类型、加速电压、真空模式、比例尺、LOGO、 日期和时间
真空方式
高真空模式 ,机械泵 ,分子泵 ,抽真空时间 :3分钟以内
设备尺寸
460(W)*600(L)*950(H)mm
运行环境
温度 :15~30℃,湿度 :≤70%电源 :单相220AC1KW 50/60Hz
样品效果:
![]()
氧化铝陶瓷粉颗粒
![]()
LED合金线
LED弧线不良
型号 |
E-150系列 |
||
E-150S-MS |
E-150D-MS |
E-150D-ST |
|
电子系统 |
|||
分辨率 |
5nm (30kV) |
||
放大倍率 |
30x~150,000x |
||
加速电压 |
1~30kv(6档可选) |
||
探测器 |
SE 探测器 |
SE/BSE 探测器 |
SE/BSE 探测器 |
图像检测 |
二次电子图像 |
多探测器电子图像 |
多探测器电子图像 |
电子枪校正 |
手动校正 |
||
偏压系统 |
自动偏压系统 |
||
灯丝类型 |
预对中钨灯丝 |
||
镜头系统 |
聚光镜:2段式磁线圈透镜 |
||
样品台 |
|||
载物台控制方式 |
3轴手动 |
5轴自动 |
|
载物台移动范围 |
3轴手动(X,Y,R,)X,Y轴 40mm / R轴 : 360° |
5轴自动(X,Y,R,T,Z)X,Y轴 40mm / R轴 : 360°, |
|
图像偏移 |
X,Y轴图像偏移(±150μm) |
||
光阑 |
可调节光阑(30/50/50/100μm) |
||
样品最大尺寸 |
高度35mm时最大直径80mm |
||
图像处理 |
|||
图像扫描 |
快速扫描:320*240 低速扫描:640*480 |
||
自动功能 |
自动启动、自动亮度对比度调节、自动初始化 |
||
图像存储格式 |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
||
图片显示数据 |
放大倍率、探测器类型、加速电压、真空模式、比例尺、LOGO、日期和时间 |
||
真空系统 |
|||
真空方式 |
全自动型、高真空模式(旋转式机械泵)100L/min,(涡轮式分子泵)70L/S. 抽真空时间:3分钟 |
||
操控系统 |
|||
电脑系统 |
微软操作系统 Windows® 10 / 11 |
||
连接方式 |
USB接口 |
||
SENSE应用软件 |
|||
应用软件 |
图像文件打开,编辑,存储功能长度,面积,角度等测量功能,设置数初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等 |
||
仪器体积和重量 |
|||
设备尺寸 |
460*600*950mm |
||
真空泵 |
400*160*340mm |
||
重量 |
130kg |
||
设备环境 |
|||
运行环境 |
温度:15~30℃,湿度:≤70% 电源:单相220AC 1KW 50/60Hz |